集成電路領域的高端裝備國產(chǎn)化進程又進一步。記者從清華控股有限公司獲悉：由清華大學科技成果成功轉(zhuǎn)化的國內(nèi)首臺12英寸化學機械拋光機近日交付使用。該產(chǎn)品擁有多區(qū)拋光頭、直驅(qū)高精度拋光盤、終點檢測等多項核心技術，主要性能指標達到了當前國際同類產(chǎn)品的先進水平。與國外同類產(chǎn)品相比，其技術先進、性能穩(wěn)定、成本更低，具有明顯的競爭優(yōu)勢。        化學機械拋光是通過使用化學腐蝕和機械作用對加工過程中的晶圓進行平坦化處理，以便獲得納米級別的平整表面，是集成電路制造工藝中的五大關鍵技術之一。在國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路平坦化工藝與材料”的支持下，清華大學研制出了國內(nèi)首臺12英寸“干進干出”銅制程拋光機，主要技術指標達到或者超過國外最先進產(chǎn)品的水平。
       清華控股成員企業(yè)天津華海清科機電科技有限公司接受清華大學的技術轉(zhuǎn)讓，擁有了化學機械拋光的核心技術，在國內(nèi)率先具備研發(fā)和生產(chǎn)12英寸前段和后段拋光整機設備的能力。近日，華海清科首臺12英寸化學機械拋光機交付中芯國際，標志著國內(nèi)12英寸化學機械拋光機已進入大型生產(chǎn)線。