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離子束沉積法

此方法是使用考福曼型離子源,使硼,氮原子或分子產生離子化,形成離子束,照射于基板合成立方氮化硼薄膜。通常是在離子源中通入高純度的B3N3H3氣體后就產生了由硼,氮原子,...

日期 2011-06-21   
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