摘要 CBN的合成通常有兩種方式:低壓氣相沉積法和高溫高壓合成法(靜態(tài)高壓觸媒法和動態(tài)沖擊法)。前者主要用于薄膜生長,后者則用于CBN晶體生長,自1957年以來其合成已經(jīng)發(fā)展得十分成熟。
CBN的合成通常有兩種方式:低壓氣相沉積法和高溫高壓合成法(靜態(tài)高壓觸媒法和動態(tài)沖擊法)。前者主要用于薄膜生長,后者則用于CBN晶體生長,自1957 年以來其合成已經(jīng)發(fā)展得十分成熟。
CBN的合成通常有兩種方式:低壓氣相沉積法和高溫高壓合成法(靜態(tài)高壓觸媒法和動態(tài)沖擊法)。前者主要用于薄膜生長,后者則用于CBN晶體生長,自1957 年以來其合成已經(jīng)發(fā)展得十分成熟。
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