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芯片切割用碳化硅微粉實現(xiàn)“中國造”

關(guān)鍵詞 碳化硅微粉|2006-05-15 00:00:00|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 這項成果使國內(nèi)芯片生產(chǎn)用上了自己的磨削材料,不僅提高了連云港硅產(chǎn)業(yè)核心競爭力,還將推動我國硅支柱產(chǎn)業(yè)高技術(shù)化二次革命。”在昨日召開的“硅晶片超精密磨削用6HSIC高親水性粉體材料的...
這項成果使國內(nèi)芯片生產(chǎn)用上了自己的磨削材料,不僅提高了連云港硅產(chǎn)業(yè)核心競爭力,還將推動我國硅支柱產(chǎn)業(yè)高技術(shù)化二次革命。”在昨日召開的“硅晶片超精密磨削用6HSIC高親水性粉體材料的制備技術(shù)”科技成果鑒定會上,鑒定委員會主任、中科院院士陳光教授興奮地說。至此,經(jīng)過3年攻關(guān).由連云港市研磨廠主持的此科研項目通過省科技廳鑒定,我國硅晶片超精密磨削介質(zhì)依靠進口的歷史從此改寫。
  
  碳化硅是已知最硬的物質(zhì)之一,超精細碳化硅微粉被視為高檔磨削介質(zhì)。我國是世界上最大碳化硅原料產(chǎn)地,但因技術(shù)不高,國內(nèi)硅晶片切割用碳化硅微粉還要靠進口,這嚴重制約了我國IT產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新。
  
  “以前,國外公司將我們產(chǎn)品作為原料,加上成高檔微粉再以近10倍的高價賣回。”廠長朱立起對此深有感觸,“這不僅浪費了珍貴資源,更可怕的是將永遠受制于人。”2003年初,他立志自主研發(fā)高檔碳化硅微粉。當時核心技術(shù)全被國外壟斷,研磨廠科研能力也不強,朱立起選擇了“合縱”戰(zhàn)略。該企業(yè)借助中國磨具磨料磨削研究所的專家力量和實驗平臺,解決了產(chǎn)品標準、檢測手段等難關(guān)。從中國第一砂輪廠聘請的專家?guī)椭麄児タ肆艘睙捁に囯y關(guān),并成功對國產(chǎn)設(shè)備實施了機電一體化改造。
  
  在攻關(guān)過程中,該廠通過國際支持解決了科研資金難題。2003年,中加中小企業(yè)應(yīng)用管理與環(huán)保合作項目提供300萬資金幫助研磨廠實施了清潔生產(chǎn)技術(shù)革新,為高檔微粉生產(chǎn)創(chuàng)造了決定性條件。
  
  2004年底,研磨廠掌握了高檔碳化硅微粉生產(chǎn)核心技術(shù),并獲得兩項國家專利。
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