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浙企攻破“卡脖子”技術(shù)斬獲首張CMP拋光液訂單

關(guān)鍵詞 CMP拋光液|2024-12-03 11:05:30|來源 浙江日報
摘要 早上9時左右,敲開寧波潤平電子材料有限公司董事長惠宏業(yè)的辦公室時,他正接起當(dāng)天的第5個電話。電話接二連三,有催訂單的,也有談業(yè)務(wù)、匯報生產(chǎn)進(jìn)度的?!氨?,最近忙得起飛!”惠宏業(yè)好不...

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        早上9時左右,敲開寧波潤平電子材料有限公司董事長惠宏業(yè)的辦公室時,他正接起當(dāng)天的第5個電話。電話接二連三,有催訂單的,也有談業(yè)務(wù)、匯報生產(chǎn)進(jìn)度的。

        “抱歉,最近忙得起飛!”惠宏業(yè)好不容易放下發(fā)燙的手機。對“潤平電子”來說,2024年的最后一個季度極其關(guān)鍵:首張CMP(化學(xué)機械拋光)拋光液大訂單投產(chǎn)趕制,新的CMP拋光液訂單正加班加點“面試”……

        CMP拋光液,就是給半導(dǎo)體芯片表面拋光的化學(xué)液體。

        芯片制造是個細(xì)活,要在指甲蓋大小的地方容納上百億個晶體管。這就要求這塊芯片能達(dá)到納米級的平整度,此時就需用拋光液去“打磨”。

        一根頭發(fā)絲直徑約為0.1毫米,一納米相當(dāng)于一根頭發(fā)絲的十萬分之一。那么納米級的平整度究竟有多難?惠宏業(yè)打了個形象的比方,若按同比例放大,以寧波到新疆的高速公路來比擬,相當(dāng)于要求3000千米長的高速公路路面起伏高度差不能超過1毫米。

        “越平整,最終芯片性能越強?!被莺陿I(yè)曾是國外一家芯片材料巨頭的高管,鉆研CMP產(chǎn)品技術(shù)多年。他很清楚,拋光液是發(fā)展高端芯片產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵一環(huán),市場長期被國外壟斷,而隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)高度細(xì)分化,中國要在芯片版圖占得一席之地,拋光液是“必爭之地”。

        2017年,惠宏業(yè)放棄國外高薪工作,“加盟”江豐電子CMP事業(yè)部。2021年底,他創(chuàng)辦“潤平電子”,全力研發(fā)CMP拋光材料。

        當(dāng)時,惠宏業(yè)算過一筆經(jīng)濟(jì)賬:全球半導(dǎo)體芯片拋光材料市場產(chǎn)值約為270億元,其中拋光液占了近一半。中國每年對拋光液的需求量折合產(chǎn)值為50億元,但國產(chǎn)拋光液市場占有量只有10%,其余都依賴進(jìn)口。

        “市場空間大,但這一行‘新人’要搶市場,太難太難!”惠宏業(yè)連說了兩個“太難”。

        在行業(yè)內(nèi)摸爬滾打27年,卻把“新人”兩字掛在嘴邊,沒等我深究緣由,惠宏業(yè)看了一眼時鐘,一臉歉意地說:“馬上要去車間盯進(jìn)度,要不我們邊走邊聊?”

        說話間,惠宏業(yè)腳底生風(fēng),我小跑幾步追了上去。來到工廠車間,走過一排排高速運作的設(shè)備,龐然大物般的巨型機器里,機械手正以毫米級的精度快速撒料、攪拌……緊張、忙碌感撲面而來?!?月1日,第一批拋光液就從這里下線;現(xiàn)在,4條生產(chǎn)線馬力全開,正全力趕制訂單!”惠宏業(yè)說。

        而惠宏業(yè)最掛心的還是實驗室,他笑著說:“那里‘系’著我們的新訂單呢!”

        一邁進(jìn)實驗室,惠宏業(yè)就如連珠炮般發(fā)問:“選擇比達(dá)標(biāo)了嗎?缺陷率有沒有降下來?拋光速率接近了嗎?”

        這會兒,研發(fā)人員正埋頭向一個實驗設(shè)備添加各種“藥液”,攪拌后,再灌裝到一個個30多厘米高的白色桶里,實驗室一角,幾十桶新調(diào)制出來的拋光液堆得滿滿當(dāng)當(dāng)?!斑@些都要送到用戶公司測試,不同用戶企業(yè)、不同產(chǎn)品,需要的拋光液也不同。

        可以說,配方和流程就是我們企業(yè)的核心競爭力。”研發(fā)科科長萬旭軍說。但這個“匹配”的過程漫長、繁瑣,投入極大,有時候一筆訂單光測試配方就要花一年時間。

        從萬旭軍滿布紅血絲的眼睛,我可以清晰地感知“首單”背后“沖鋒”的艱辛。

        沖刺首單,“萬旭軍”們最初遇到的是“技術(shù)題”。拋光液里需加入很多納米級的顆粒,用于研磨芯片表面,如何讓這些顆粒大小均勻、沒有雜質(zhì),這是個大難題。而小顆粒又很容易“抱團(tuán)”成大顆粒,劃傷芯片表面,這又需要合適的分散劑助力……“整個研發(fā)過程至少經(jīng)歷了上千次實驗,從拋光顆粒到最終產(chǎn)品,目前我們完成了全鏈路100%自主生產(chǎn),三年間,企業(yè)已累計申請專利105項。”萬旭軍自豪地說。

        攻克了“卡脖子”技術(shù),市場又是另一道考題。惠宏業(yè)常用“保守”兩字來形容半導(dǎo)體芯片企業(yè),“不輕易換合作方,因為試錯成本太高,像生產(chǎn)一片300毫米直徑晶圓芯片,平均需要一到三個月,成本高昂,任何一個環(huán)節(jié)出差錯,就會全部報廢,所以‘新人’很難打入市場?!?/p>

        惠宏業(yè)的解釋,解答了剛才留給我的困惑。他說,前三年,“小樣”是一桶一桶往用戶企業(yè)送,測試、調(diào)整、再測試,終于通過層層考驗,拿下第一單。

        “首單斬獲,就像拿到了一張市場‘暢通證’,很快就有四五家企業(yè)拋來橄欖枝。四季度,我們要全力沖擊這些新訂單!”惠宏業(yè)信心滿滿。

        信心背后,惠宏業(yè)已然“鋪開”全新的發(fā)展版圖:新廠房加緊施工建設(shè),融資談判緊鑼密鼓,出口審批手續(xù)也已啟動……

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