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日本:多家企業大舉進軍8英寸鍵合碳化硅襯底

關鍵詞 碳化硅|2024-10-12 09:34:46|來源 中國電子材料行業協會
摘要 鍵合碳化硅襯底即指通過在低電阻多晶SiC支撐襯底上鍵合一層高質量的單晶SiC薄層,這些產品能夠在保持單晶SiC特性的同時,也能實現整個襯底的低電阻和減少電流衰減,從而實現高性能和有...

       鍵合碳化硅襯底即指通過在低電阻多晶SiC支撐襯底上鍵合一層高質量的單晶SiC薄層,這些產品能夠在保持單晶SiC特性的同時,也能實現整個襯底的低電阻和減少電流衰減,從而實現高性能和有競爭力的價格。近期,住友金屬,Resonac(原昭和電工)以及東海碳素等日本企業紛紛進軍該領域,以下為更加詳細的報道。

       esonaRc(原昭和電工)

       2024年9月24日,Resonac(原昭和電工)官網宣布,他們與Soitec簽訂了聯合開發協議,雙方將共同開發8英寸SiC——Resonac將在8英寸襯底制造中采用Soitec的Smart SiC?技術,最終提高8英寸碳化硅外延的生產效率,并實現碳化硅外延片業務供應鏈的多樣化。

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       住友金屬

       2024年9月27日,住友金屬礦山株式會社(以下簡稱“住友金屬”)及其全資子公司Sicoxs Coparation宣布,將在Sicoxs的Ohkuchi工廠建設一條新的8英寸(200mm)SiCkrest大規模生產線,SiCkrest為直接鍵合的碳化硅(SiC)襯底。住友金屬預計,隨著8英寸襯底生產線的建成,到2025財年下半年,鍵合SiC襯底的月產能將超過10,000片(6英寸等效)。同時,Sicoxs還計劃開始向其被許可方供應多晶SiC支撐基板。

       東海碳素

       據日媒報道,2024年8月,碳和石墨產品綜合制造商東海碳素(Tokai Carbon)擬投資54億日元(折合人民幣約為2.7億元)在日本神奈川縣茅崎市建立一條多晶SiC晶圓專線,并預計將于2024年12月完成建設。

       東海炭素開發的用于功率半導體的SiC晶圓,被稱為“層壓SiC晶圓”。層壓SiC晶圓是通過將帶有預刻槽的單晶SiC晶圓與多晶SiC晶圓鍵合,然后加熱剝離刻槽部分,在作為襯底的多晶SiC晶圓上形成單晶SiC薄膜而制成的。由于單晶SiC層是薄膜,單晶SiC晶圓可重復使用10次以上,一張單晶SiC晶圓可生產10張以上的鍵合晶圓。

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       此前報道,今年5月,東海炭素與法國半導體材料制造商Soitec就多晶SiC晶圓達成合作,公司將在中長期內為Soitec供應6英寸和8英寸多晶SiC晶圓。

       除了在日本茅崎市基地設立多晶SiC專線外,東海炭素還計劃在其位于韓國京畿道安城市的現有工廠生產多晶SiC。

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