三安光電宣布，旗下子公司湖南三安8英寸碳化硅襯底已完成開(kāi)發(fā)，產(chǎn)品進(jìn)入小批量生產(chǎn)及送樣階段。

據(jù)介紹，湖南三安依托精準(zhǔn)熱場(chǎng)控制的自主PVT工藝，8英寸碳化硅襯底實(shí)現(xiàn)更低成本及更低缺陷密度，后續(xù)將持續(xù)提升良率，加快設(shè)備調(diào)試與工藝優(yōu)化，并持續(xù)推進(jìn)湖南與重慶工廠量產(chǎn)進(jìn)程。

據(jù)了解，2021年6月，總投資160億元的湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目一期正式點(diǎn)亮投產(chǎn)；2022年7月，項(xiàng)目二期開(kāi)建，總投資為80億元，達(dá)產(chǎn)后配套年產(chǎn)能為36萬(wàn)片。今年6月，三安光電宣布與意法半導(dǎo)體簽署協(xié)議，將在重慶建立8英寸碳化硅器件合資制造廠。按照計(jì)劃，該合資廠全部建設(shè)總額預(yù)計(jì)約達(dá)32億美元（約合227.8億人民幣），將于2025年第四季度投產(chǎn)，預(yù)計(jì)在2028年全面建成。

三安光電是中國(guó)第一家、全球第三家實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈垂直整合的企業(yè)，產(chǎn)業(yè)鏈布局包括長(zhǎng)晶—襯底制作—外延生長(zhǎng)—芯片制備—封裝。“碳化硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展初期實(shí)現(xiàn)垂直整合，能夠很好應(yīng)對(duì)不同場(chǎng)景的可靠性問(wèn)題。”一名產(chǎn)業(yè)人士如是稱(chēng)。

三安光電碳化硅器件上車(chē)進(jìn)展加速。據(jù)了解，該公司推出了650V-1700V寬電壓范圍的SiC MOSFET，產(chǎn)品具備高性能、高一致性和高可靠性等特點(diǎn)，并可根據(jù)客制化要求，提供多種靈活工藝方案。其中，1700V/1000mΩ MOSFET主要使用在光伏逆變器的輔助電源，1200V/75mΩ MOSFET則主要應(yīng)用于新能源汽車(chē)的OBC，兩款產(chǎn)品均處于客戶(hù)端導(dǎo)入階段，將逐步批量供貨；1200V /16mΩ車(chē)規(guī)級(jí)芯片已在戰(zhàn)略客戶(hù)處進(jìn)行模塊驗(yàn)證，預(yù)計(jì)于2024年正式上車(chē)量產(chǎn)。

碳化硅行業(yè)三個(gè)重點(diǎn)環(huán)節(jié)（襯底、外延和器件）中，襯底在產(chǎn)業(yè)鏈中價(jià)值量占比最高，接近50%。碳化硅市場(chǎng)以6英寸為主流，而8英寸能夠生產(chǎn)的晶粒數(shù)約為6英寸SiC晶圓的1.8倍，晶圓利用率和產(chǎn)能將會(huì)顯著提高，可將單位綜合成本降低 50%。

有產(chǎn)業(yè)人士稱(chēng)，今年將會(huì)是8英寸碳化硅元年。今年以來(lái)，國(guó)際功率半導(dǎo)體巨頭Wolfspeeed、意法半導(dǎo)體等加速發(fā)展8英寸碳化硅。而國(guó)內(nèi)市場(chǎng)來(lái)看，碳化硅設(shè)備、襯底及外延環(huán)節(jié)亦迎來(lái)突破性進(jìn)展，并且多家行業(yè)龍頭選擇與國(guó)際功率半導(dǎo)體巨頭聯(lián)手。

除三安光電外，天科合達(dá)去年年底發(fā)布8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底產(chǎn)品，并宣布將于今年內(nèi)實(shí)現(xiàn)8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底小規(guī)模量產(chǎn)。今年5月，天科合達(dá)與英飛凌簽署長(zhǎng)期協(xié)議，天科合達(dá)將提供200毫米（8英寸）直徑碳化硅材料，幫助英飛凌向200毫米直徑晶圓的過(guò)渡。

天岳先進(jìn)此前亦曾表示，公司已經(jīng)具備8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底的量產(chǎn)能力。在今年的Semicon China展會(huì)上，天岳先進(jìn)公布了業(yè)內(nèi)首創(chuàng)的采用液相法制備出了低缺陷的8英寸晶體，通過(guò)熱場(chǎng)、溶液設(shè)計(jì)和工藝創(chuàng)新，突破了碳化硅單晶高質(zhì)量生長(zhǎng)界面控制和缺陷控制難題。天岳先進(jìn)在今年5月與英飛凌簽訂了一項(xiàng)新的晶圓和晶錠供應(yīng)協(xié)議，供貨碳化硅6英寸襯底、合作制備8英寸襯底。

晶盛機(jī)電此前宣布，公司已掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅襯底工藝和技術(shù)，成功生長(zhǎng)出8英寸N型碳化硅晶體，解決了8英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)過(guò)程中溫場(chǎng)不均，晶體開(kāi)裂、氣相原料分布等難點(diǎn)問(wèn)題。晶盛機(jī)電此前亦宣布將會(huì)在今年內(nèi)實(shí)現(xiàn)8英寸產(chǎn)品小批量量產(chǎn)。

科友半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)了6英寸SiC單晶襯底的規(guī)模生產(chǎn)和批量供貨，以及8英寸SiC單晶襯底的小批量生產(chǎn)及供貨。今年9月，科友首批自產(chǎn)8英寸SiC襯底，于科友產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)襯底加工車(chē)間成功下線。

在碳化硅設(shè)備方面，晶盛機(jī)電成功推出8寸單片式碳化硅外延設(shè)備，可兼容6英寸/8英寸碳化硅外延，外延的厚度均勻性1.5%以?xún)?nèi)、摻雜均勻性4%以?xún)?nèi)，達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。

晶升股份已向多家客戶(hù)交付8寸碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備。據(jù)公司稱(chēng)，部分客戶(hù)已經(jīng)取得了一定的研發(fā)成果，正在不斷優(yōu)化工藝制程。晶升股份碳化硅單晶爐業(yè)務(wù)已覆蓋國(guó)內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈涉及襯底制造的主要廠商，已實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)內(nèi)產(chǎn)銷(xiāo)規(guī)模較大、產(chǎn)業(yè)鏈布局較為完善的IDM企業(yè)——三安光電的批量供應(yīng)。