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CVD金剛石薄膜基體材料的選擇

關(guān)鍵詞 CVD金剛石薄膜 , 基體材料|2011-06-21 11:33:40|制造技術(shù)|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 金剛石具有優(yōu)異的物理、化學(xué)性質(zhì),在所有物質(zhì)中具有最高的硬度,室溫下有最高的熱導(dǎo)率,極低的熱膨脹系數(shù),低摩擦系數(shù),良好的化學(xué)穩(wěn)定性,大的禁帶寬度(5.5Ev),最高的聲傳播速度,較高...
  金剛石具有優(yōu)異的物理、化學(xué)性質(zhì),在所有物質(zhì)中具有最高的硬度,室溫下有最高的熱導(dǎo)率,極低的熱膨脹系數(shù),低摩擦系數(shù),良好的化學(xué)穩(wěn)定性,大的禁帶寬度(5.5Ev),最高的聲傳播速度,較高的半導(dǎo)體摻雜性以及從遠(yuǎn)紅外光區(qū)到紫外光區(qū)的光學(xué)透過性,使得其在機(jī)加工、微電子、光學(xué)等許多領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。然而天然金剛石數(shù)量極少,高溫高壓合成的金剛石由于受粒度限制且價格昂貴,使金剛石的優(yōu)異性能不能充分利用。1982年,Matsrmto等人使用化學(xué)氣相沉積法(CVD)制備出了金剛石膜,使得金剛石的優(yōu)異性能得以充分發(fā)揮,從而在全世界范圍內(nèi)掀起了CVD金剛石膜研究熱潮。我國目前也加大了對金剛石膜的研究投資力度,并有多家研究單位投入了大量的人力進(jìn)行此項研究工作,根據(jù)國內(nèi)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和國內(nèi)技術(shù)經(jīng)濟(jì)發(fā)展特點(diǎn),金剛石薄膜涂層工具、金剛石熱沉基片、場發(fā)射顯示器件、聲表面波器件及納米金剛石膜的應(yīng)用將有望陸續(xù)進(jìn)入市場。
  摘自《金剛石與磨料磨具工程》2004.3

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