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哈工大過濾陰極真空電弧薄膜沉積技術(shù)國內(nèi)領(lǐng)先

關(guān)鍵詞 過濾陰極真空電弧薄膜沉積技術(shù)|2005-01-18 00:00:00|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 2005年1月7日,哈工大復(fù)合材料與結(jié)構(gòu)研究所朱嘉琦博士等研究人員正在進(jìn)行沉積非晶金剛石薄膜的實驗。科研人員采用過濾陰極真空電弧和磁控濺射等工藝方法,制備高性能的非晶金剛石薄膜、不...
  2005年1月7日,哈工大復(fù)合材料與結(jié)構(gòu)研究所朱嘉琦博士等研究人員正在進(jìn)行沉積非晶金剛石薄膜的實驗。科研人員采用過濾陰極真空電弧和磁控濺射等工藝方法,制備高性能的非晶金剛石薄膜、不同摻雜的非晶金剛石薄膜以及其他先進(jìn)功能薄膜材料,可廣泛應(yīng)用于聲表面波器件、太陽能電池以及紅外光學(xué)窗口等不同領(lǐng)域。
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