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上海潤(rùn)平電子申請(qǐng)低硬度研磨墊及其制備方法專利,降低研磨墊硬度減少晶圓拋光缺陷

關(guān)鍵詞 專利|2025-05-16 14:19:28|來源 金融界
摘要 金融界2025年5月12日消息,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,上海潤(rùn)平電子材料有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種低硬度研磨墊及其制備方法”的專利,公開號(hào)CN119952607A,申請(qǐng)日期為202...

       金融界 2025 年 5 月 12 日消息,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,上海潤(rùn)平電子材料有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種低硬度研磨墊及其制備方法”的專利,公開號(hào) CN119952607A,申請(qǐng)日期為 2025 年 3 月。

       專利摘要顯示,本發(fā)明提供了一種低硬度研磨墊及其制備方法,所述的制備方法包括:提供基材層、熱熔粘結(jié)層與上墊層;對(duì)所述基材層進(jìn)行預(yù)處理,得到邵氏硬度<50SHA 的緩沖層,隨后在所述緩沖層表面貼合熱熔粘結(jié)層,并進(jìn)行一次熱壓;在所述熱熔粘結(jié)層表面貼合上墊層,并進(jìn)行二次熱壓,隨后對(duì)所述上墊層進(jìn)行窗口制作形成至少一個(gè)窗口,再進(jìn)行切槽處理形成若干個(gè)溝槽;提供感應(yīng)粘合層,將所述感應(yīng)粘合層貼合在緩沖層遠(yuǎn)離熱熔粘結(jié)層的一側(cè)表面,并進(jìn)行三次熱壓,得到低硬度研磨墊。本發(fā)明降低了研磨墊的硬度,進(jìn)而減少了晶圓拋光過程中表面劃傷或缺陷。

       天眼查資料顯示,上海潤(rùn)平電子材料有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本1234.97萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,上海潤(rùn)平電子材料有限公司共對(duì)外投資了6家企業(yè),財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息11條,專利信息24條,此外企業(yè)還擁有行政許可2個(gè)。

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