12月20日，記者從北京大學東莞光電研究院獲悉，該院研究員王琦與南方科技大學、香港大學等研究人員組成的聯合研究團隊，在金剛石薄膜材料制備和應用方面取得重要進展，成功開發出能夠批量生產大尺寸超光滑柔性金剛石薄膜的制備方法。相關成果近日發表在國際學術期刊《自然》上。

       王琦介紹，金剛石是一種特殊的材料，由于其卓越的性能，在各個領域都有巨大的應用潛力。在過去幾十年中，盡管人們作出了巨大努力，但超薄金剛石膜仍未獲得廣泛使用，批量生產依然具有挑戰性。

       本項工作成功開發了切邊后使用膠帶進行剝離的方法，能夠大量制備大面積（2英寸晶圓）、超?。▉單⒚缀穸龋?、超平整（表面粗糙度低于納米）、超柔性（可360°彎曲）的金剛石薄膜。制備的高品質薄膜具有平坦的可加工表面，能夠允許進行微納加工操作，超柔性特點使得能夠直接用于彈性應變工程，以及變形傳感應用。

       據介紹，通過系統的實驗和理論研究，該研究表明，剝離薄膜的品質取決于剝離的角度和膜厚度，而且能夠在優化的操作窗口穩健地制備大面積且基本保持完整的金剛石薄膜。這種一步得到金剛石薄膜的方法，為大規模制備高品質金剛石薄膜提供路徑，有可能加快金剛石材料在電子學、光子學等相關領域的商業化應用。