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官方微信摘要 由青海大學和青海省方盛磨料磨具公司共同承擔的《半導體制造用高純超細碳化硅粉末產(chǎn)品開發(fā)》高新技術產(chǎn)業(yè)化項目最近通過驗收。這一項目采用碳化硅單結晶加工物做為粉碎介質、應用水流粉碎機、粉...
由青海大學和青海省方盛磨料磨具公司共同承擔的《半導體制造用高純超細碳化硅粉末產(chǎn)品開發(fā)》高新技術產(chǎn)業(yè)化項目最近通過驗收。這一項目采用碳化硅單結晶加工物做為粉碎介質、應用水流粉碎機、粉碎工程內分級和酸堿洗凈技術，開發(fā)出了純度高、雜質含量低的超細碳化硅微粒，并打入了國際市場。目前，這種產(chǎn)品已試生產(chǎn)了60噸，新增利潤72萬元。
驗收評審中，專家委員會認為這個項目中的工藝路線具有創(chuàng)新性，研究總體水平達到了國內領先水平，項目開發(fā)出的產(chǎn)品附加值高，成本低，具有顯著的經(jīng)濟效益、社會效益和廣闊的應用前景。
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