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官方微信摘要 近期，山東省光電子產(chǎn)業(yè)取得突破性進展，山東大學(xué)晶體材料國家重點實驗室碳化硅單晶爐研制成功，制約山東光電子發(fā)展的主要瓶頸已被打破。山東大學(xué)晶體材料國家重點實驗室繼碳化硅生長加工技術(shù)和...
近期，山東省光電子產(chǎn)業(yè)取得突破性進展，山東大學(xué)晶體材料國家重點實驗室碳化硅單晶爐研制成功，制約山東光電子發(fā)展的主要瓶頸已被打破。 山東大學(xué)晶體材料國家重點實驗室繼碳化硅生長加工技術(shù)和器件應(yīng)用取得突破之后，在消化吸收國外單晶爐的基礎(chǔ)上，綜合多年單晶生長和半導(dǎo)體薄膜外延的經(jīng)驗，集成創(chuàng)新，成功地研制出2英寸碳化硅單晶爐，并生長出了2英寸碳化硅單晶。
碳化硅單晶產(chǎn)業(yè)化最后的一個難關(guān)被成功攻破，實現(xiàn)了從單晶生長爐制造、單晶生長、襯底加工和應(yīng)用的全部國產(chǎn)化。單晶爐的研發(fā)成功為我們走有山東特色的半導(dǎo)體照明奠定了堅實的基礎(chǔ)，填補了國內(nèi)空白，打破了國外壟斷。
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